各行業無塵車間溫濕度規范要求（參考）

無塵車間對溫濕度的控制取決于其生產工藝。例如怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度，相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事/故。今天，我們來看常見無塵車間對溫濕度有要求的工藝。

示例 一

在精密機械加工和計量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在：（）以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。

示例 二

在電子行業，制造車間是產生靜電的主要地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事/故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

示例 三

SMT車間對溫度和濕度有明確的要求，主要是為了錫膏能工作在一個較好的環境 ，溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，后影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現虛焊，焊點不光澤等現象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時產生氣空，飛漸，連焊等現象。故SMT恒溫恒濕車間溫濕度標準: 溫 度: 24±2℃ 濕 度: 50±10%。 

示例 四

在生物制藥的潔凈車間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45％ 一50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％ ～55％RH，水針及口/服液55％ ～65％RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產質量。

示例 五

在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。　濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事/故。相對濕度在50%時易生銹。

示例 六

食品、保健品、飲料等車間對對生產潔凈度要求比較高，通常為10萬級至萬級以上，但同時車間的濕度越低越容易滋生細jun，細jun和其他生物污染,在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁zhi。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細jun的影響以及呼吸道感染降至低值。

綜合以上多個行業我們總結出溫濕度對無塵車間的五大影響

1、細jun生長;  
2、工作人員感到室溫舒適的范圍;  

3、出現靜電荷;  

4、金屬fu蝕;  

5、水汽冷凝;  

6、光刻的退化; 

7、吸水性。

所以無塵車間的溫濕度控制由其生產工藝決定，但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調精度(這里主要指溫濕度)要求高；后兩者為較大的生產車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。